二手 ASML XT 1250B #9293432 待售
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單擊可縮放
ID: 9293432
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
ArF Scanner, 12"
SECS, GEM
FOUP
ASML Reticle handler
ASML Wafer handler
Operating system: OIU Unix
CYMER XLA-165 Laser
Main distribution cabinet
(2) Electro cabinets
Exhaust cabinet
Lens circuit water cabinet
Motor circuit water cabinet
Air control cabinet
Purge hood blower
2005 vintage.
ASML XT 1250B是一種高度專業化的晶圓步進器,設計用於高性能、半導體的精確對準和其他用於亞微米技術的集成電路。這種10區步進器允許嚴格的精度和生產速度晶片的最大直徑12英寸。它采用了專利的「平面內」掃描技術,使設備能夠快速掃描和傳送表面極為均勻光滑的晶片。步進器還具有先進的5軸對準系統,可在生產過程中精確定位和跟蹤。ASML XT:1250B利用高分辨率掃描頭,在掃描過程中提供6微米分辨率和254 nm波長的地形檢測。高分辨率的光學和電機控制提供了非常平滑的定位運動,既提高了精度,也提高了生產速度。光學元件和高分辨率掃描儀的組合允許在生產過程中采用晶圓級激光檢查程序。該單元由功能強大但高效的1.4 GHz Intel Pentium處理器提供動力,並在32位Windows 98操作機上運行。該工具最多可連接四臺PC,使其易於擴展並能夠執行非常大的生產作業。XT 1250B還提供了利用內置自動化資產實現自動化和控制生產的獨特能力。自動化模型允許數據分析、配方控制以及照相機和掃描儀對齊。自動化設備可以升級以提供更大的靈活性和進一步的自動化功能。XT:1250B是一種提供高速生產和精度的頂級晶圓步進器。雖然最初的成本可能很高,但是在半導體和亞微米生產上需要高精度的公司,從長遠來看可以大幅節省,這要歸功於其快速的操作和自動化能力。
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