二手 ASML XT 1250B #9383217 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ASML XT 1250B是半導體工業中為光刻設計的晶圓步進器。它提供了有效的模式轉移到半導體晶片,提高了設備性能和生產率。這種晶片步進器使用多種透鏡技術,將成像光束精確聚焦到晶片表面,允許精確放置和復制圖樣。ASML XT:1250B平臺可以利用先進的鏡頭技術,如EUV/DUV和多個曝光領域。這是一個雙級晶片步進器,使用專利的雙級真空系統,以適應不同的基板尺寸的柔性設備生產。它采用模塊化設計構建,可以快速配置和重新配置,以實現大批量生產。此外,XT 1250B利用亞微米高分辨率投影光學系統,使其能夠產生線寬在0.2-1.2 µm範圍內的圖案。該晶片步進器配有真空/差分加載系統和相機自動對焦,將成像物鏡和相機鏡頭結合在一起,具有獨特的高精度對準配置。它旨在減少粒子生成,改善各級之間無汙染成像的平衡。XT:1250B還具有低噪聲步進控制器和電機驅動器,為精確的基板定位提供可靠的內頻。ASML XT 1250B還能夠執行密集的模式叠加對齊,利用圖像處理軟件進行圖像比較和測量控制。這臺機器的設計目的是通過使用高級圖像分析來減少放置差異。綜上所述,ASML XT:1250B是一個強大的晶圓步進設計光刻。它的雙級設計、先進的成像光學技術和優化的傳感器系統使它能夠以最小的汙染和更高的檢測精度產生精確的模式。這種機器的高效加工既適合大批量生產,又適合精密的設備制造。
還沒有評論