二手 ASML XT 1250D #293623548 待售

ASML XT 1250D是一種全場步進掃描設備，用於半導體晶片的大體積光刻。它以XT 1200系列架構為基礎，提供一系列的應用以適應各種客戶的光刻需求。該機器能夠產生具有先進覆蓋和過度曝光控制的高密度模式。它旨在提供高吞吐量、低擁有成本和卓越的吞吐量性能。XT 1250D具有最先進的光學系統,具有較高的數值孔徑,提供卓越的分辨率和圖像質量。它可容納三種類型的光刻膠，用於單次、雙次和三次曝光。它還具有先進的晶圓處理單元，具有內置的安全和容錯功能。步進器設計為保持高機械完整性和穩定性，並配備了人性化的診斷和控制系統。該機還具有先進的舞臺和成像控制機,可實現高吞吐量、穩定的陣列和快速的視場交換。由於先進的激光對準和維護功能,光刻光學技術提高了性能。該工具高度自動化,可以輕松執行單場到多場的曝光。分級軌跡控制基於高精度掃描伺服和激光對準，實現了快速、精確的對準。ASML XT 1250D的嵌入式軟件和體系結構是為了保證高性能、重復性和均勻性而編程的。它提供可靠的數據管理和易於訪問的過程參數,以節省時間。還可以集成外部硬件,以改善環境和熱穩定性。該機還提供了可擴展的輸出功率以實現最佳劑量控制。總體而言,XT 1250D是一種功能強大、高精度的步進掃描資產,可通過精細的光學控制處理一系列光刻過程。其先進的光學器件可以處理廣泛的曝光範圍，嵌入式軟件提供用戶友好的操作、快速的吞吐量和可靠的模式。