二手 ASML XT 1250D #293624486 待售

ASML XT 1250D是一種用於半導體器件制造的晶圓步進器.它是一個4軌設備，能夠超精細的特征處理。系統使用LaserRay Reflex 3激光源，能夠提供250 nm至1700 nm的曝光，以及405 nm波長的集成高靈敏度成像頭。該單元的200毫米x 300毫米矩陣可以處理像素大小低至0.2微米的高分辨率圖像，允許先進半導體元件的亞微米圖樣化。該機還包括智能重叠控制、模式匹配、場匹配等先進設計特點，以確保成像頭在半導體晶片上的精確放置。此外,光束軌跡和焦點控制工具允許精確放置和聚焦成像光束,這對於正確打印最佳幾何形狀至關重要。XT 1250D利用最先進的熱成像儀增強對比度分辨率，最高工作溫度可達370 °C。此外，該資產還具有各種安全功能，包括微劑量、高光束電流監測器、實時故障監控和5級安全聯鎖模型。此外，該設備還具有高精度的舞臺，具有可重復性和可重復性。光學對準顯微鏡用於定位精度和驗證，有助於確保晶圓為正方形並以舞臺為中心。此外,系統最多可配置3個自動化機器人,從而實現更快的流程吞吐量和更好的機器資源利用率。最後,隨著對精確步進性能和可靠性的日益增長的需求,ASML XT 1250D通過其專有通信鏈路滿足了這些需求,該鏈路經過優化以提供實時單元監控。機器還可以與內部網絡集成，允許數據分析和遠程過程監控。總體而言，XT 1250D為微加工和半導體器件生產提供了高效、高精度的環境。