二手 ASML XT 1250D #9192070 待售

ASML XT 1250D是半導體工業中用於光刻的頂級晶圓步進器。XT 1250D是一種激光成像系統，能夠產生具有極高細節和均勻性的電路。ASML XT 1250D中使用的激光器是一種大功率氟化氙（ArF）準分子激光器，最大額定功率為200瓦。這使得機器能夠以不到3納米的分辨率產生清晰一致的圖像。XT 1250D還可以支持多種面膜材料和抗蝕劑，有機物和無機物。ASML XT 1250D配備了一個X-Y級和多達四個偏轉器光學器件，使這個晶片步進器能夠精確定位和暴露目標晶片。多虧了這些光學器件,曝光場最大可達21英寸。該機器還支持自動對準五個獨立和不同的攝像機，以確保晶片在X-Y階段的精確對準。XT 1250D是一個可靠、經濟高效的成像系統，但真正讓它脫穎而出的是其成像質量。ArF激光器具有聚焦光束點直徑（83 λ），使晶片步進器達到最佳5nm的臨界尺寸（CD）精度。此外,ASML XT 1250D非常高效,每小時的吞吐量高達2,800個晶圓,單個晶圓的周期時間不到6秒。XT 1250D設計為用戶友好,與行業標準的監管控制和數據采集（SCADA）系統兼容。這使得將機器整合到生產線或任何其他類型的光刻工藝中變得容易。總而言之,ASML XT 1250D是一種頂級的晶片步進器,可提供出色的成像精度、可靠性和令人印象深刻的吞吐量,以及非常實惠的價格標簽。由於這些原因，它是生產極高精度和細節的電路的最佳選擇之一。