二手 ASML XT 1250D #9366114 待售
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ASML XT 1250D是一種用於深紫外光刻工藝的晶圓步進器.機器最多協調三個光學元件，包括激光器、標線和透鏡，以創造出單位數納米精度的精密微芯片圖案。它提供了業界領先的照明均勻性和快速掃描時間與優越的動態光束控制。XT 1250D由最大速度為7mm/s的1600 mm方框組成。設有隔振、三套閉環空氣軸承系統、Z-bus集成。該產品還可以在保持15納米精度的同時，進行高達420厘米的長距離掃描。此外,還可以定制刀具,以處理直徑從125mm到300 mm的各種晶圓尺寸。ASML XT 1250D上的光學陣列模塊包含四個主要目標和兩個子目標以及一個標線目標。它配備了特殊的2X 0.5 NA 0.400 AR1,可在整個晶片上提供均勻的輻照度。再者，在物體和瞳孔之間放置液晶（LC）透鏡，根據應用的需要調制光線。XT 1250D旨在為各種處理階段提供性能和精度。它具有獨特的動態光束控制（DBC）系統,可實現更高的幀速率和更快的曝光時間。此外,該產品還能夠生成小至20 nm的功能,是當今先進半導體工藝的理想選擇。ASML XT 1250D是業界領先的尖端設備,通常在大批量生產設施中使用。它兼具性能、精度和可靠性，是先進光刻工藝的理想選擇。
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