二手 ASML XT 1250D #9391534 待售

ASML XT 1250D晶片步進器是一種超高性能的光刻設備，旨在加快微電子制造過程。它采用短波長248 nm KrF激光投影系統，能夠產生分辨率高達0.13微米的印刷圖像。該機將滿載掃描儀的成像性能與臨界維度原子力顯微鏡的速度相結合。該機器的設計目的是便於在集成電路、MEMS和光電元件上產生電路模式，其分辨率可降至0.13微米，同時保持一致的可靠性和吞吐量。它配備了5軸機器人電動晶片級和二維矽標線罩級。遮罩級可以以15.2毫米/秒的速度在兩個軸上移動，晶圓級可以以11.2毫米/秒的速度在五個軸上移動。晶圓步進器還設有帶溫度控制、空氣過濾系統和有源氮系統的車載清潔室。該機的光學機器包括光學激光源、冷凝器光學相機和成像鏡頭。此外，機器的場內縫合能力使它能夠在不同的基板上形成圖樣。XT 1250D晶片步進器具有先進的穩定和對準功能,可確保晶片掃描和曝光過程中的重復性和精確對準精度。它還具有改進的納米分辨率傳感器，可以測量步高，以及對準和關鍵尺寸特征。此外,步進器還具有高精度計量工具,可容納高長寬比的金屬線條和觸點。ASML XT 1250D晶片步進器是一種強大而高效的光刻工具，可用於集成電路、MEMS和光電元件的各種要求。它提供卓越的成像性能，清潔的環境和可靠的吞吐量為大容量生產電路模式的晶片。這臺機器非常適合半導體、MEMS和光電行業的行業和研發機構。