二手 ASML XT 1400 #9259958 待售

ASML XT 1400是半導體工業中使用的晶片步進器，用於矽片上高級器件的精確陣列。該機器提供了現場可用的最高吞吐量,能夠在單個配方中提供3,000個0.25微米的曝光層。它保證了每一個暴露的掩模的總精度，最高的覆蓋通量為15納米。XT 1400由通量輸出較高的全面低壓照明方案驅動，意味著功耗最小化和最大模式保真度。其曝光系統還具有先進的軟件套件和光學子系統，以確保最大限度地提高設備陣列的效率。配備高度優化的掩碼處理算法和層優化方法，ASML XT 1400可以在光刻周期時間內提供最佳效果。該機設計用於不間斷晶片陣列,吞吐量率最高,具有自動孔徑處理系統,可根據正在制造的設備的大小進行調整。此外,XT 1400還采用了具有無源冷卻和溫度補償功能的強大熱配置,以確保層均勻性和零漂移焦點。除了先進的光刻系統外,ASML XT 1400還利用任意位置或方向的多根光束,使制造達到全新的高度。它的下一代自動對齊工具允許將暴露的晶片與性能可重復性出色的原始掩模層進行比較。XT 1400是目前市場上性能最高的步進工具,它以無與倫比的吞吐量、可靠性和準確性提供下一代產品。這臺機器具有在設備制造廠建立生產線的能力，否則是不可能的。