二手 ASML XT 1400 #9304319 待售

ASML XT 1400是一種光學步進器，用於半導體光刻。專為深紫外線（DUV）應用而設計。步進器可以精確地對尺寸達200毫米的晶片進行陣列設計，是一種可靠、高效的面罩和標線生產工具。該機具有較高的吞吐量，旨在提高設備制造的速度和質量。因此，它減少了上市時間，提高了晶圓制造的產量。步進器有兩個階段；第一級用於掩模對準，第二級用於晶圓對準。它在整個圖像場上的分辨率為0.8微米。XT 1400具有很大的視場，最大可達1010 mm，可以處理更大的對象。它擁有高效的機械設備，可以產生小於0.7微米的覆蓋精度。這允許精確的模式和更高的收益率。它還有一個先進的接觸控制系統，減少過程參數的可變性，並在接觸場上保持均勻劑量。步進器具有低失真掃描儀，有助於最大程度地減少圖像的散焦和失真。它還可以與抗蝕劑塗層模塊和旋轉處理器結合使用，這有助於降低成本和提高效率。它還具有用於聚焦和照明穩定的穩定單元，以確保結果一致和準確。ASML XT 1400具有高分辨率、高吞吐量、高精度的成像能力.它結合了先進的光學、力學機器和環保的照明工具，使其成為高精度圖樣制作的完美工具。該機器易於使用和維護，其可靠的性能確保晶圓產量最大化。