二手 ASML XT 1400E #293825230 待售

ASML XT 1400E是為光刻應用而設計的高級晶圓步進器。它是一種真空級晶圓步進器，在獨特的模塊化平臺上操作，用於高精度暴露軟X射線和電子束掩模。這種高度適應性的設備能夠容納各種類型的基板，並通過優越的對齊和工藝重復性降低工藝要求。XT 1400E具有特殊的X射線掩蔽系統,除了旋轉和傾斜之外,還允許掩蔽卡盤的橫向運動。這使掩碼能夠在單元內進行最佳對齊。此外，機器沿X和Y軸提供了廣泛的加速度和減速，使面罩能夠快速和精確地移動。步進器還具有自動對準和對焦控制、高位置分辨率、精確點對準等特點。步進器利用由高性能運動控制工具驅動的6軸電磁運動設計。具有介電場發射電子槍和精確點控功能，可實現快速、精確的掩模對準。它還配備了先進的視覺引導資產，可以檢測和檢測口罩和基板形狀的變化。ASML XT 1400E晶片步進器在基準配置和生產配置中都可用,它們是為低批量或大批量生產而設計的。該模型還提供了多種光學和軟件，可以根據具體的應用需求進行定制。由於設備的進步，XT 1400E成為許多光刻應用的首選晶圓步進器。它為提高掩模利用率、提高吞吐量和縮短生產周期提供了更高的準確性和可重復性。因此,對於需要提高精度和高分辨率的應用程序,這是最佳選擇。