二手 ASML XT 1400E #9289672 待售

ASML XT 1400E是半導體光刻領域的領導者ASML制造的頂級晶圓步進器。XT 1400E是一種最先進的機器，為微電子制造提供精確的微光刻技術。該機器具有許多先進的功能,使其非常適合高精度的制造任務,例如在晶圓、電路陣列和其他元件上顯示光阻以創建導電層。ASML XT 1400E設計為執行單步光刻系統,利用光源、透鏡、分束器和消光快門的組合,創建從光掩模或標線到晶圓或測試基板的圖樣。該機配備了一系列光源，包括KrF和ArF準分子激光器，可用於創建亞微米分辨率圖像。步進器還可以與光學相幹斷層掃描系統結合使用，允許用戶光學檢查對於顯微鏡來說太小的特征。XT 1400E還配備了靈敏精密光束對準和調整工具（SPAT），使機器能夠精確聚焦和移動步進頭穿過晶圓。SPAT使用激光幹涉測量和反饋系統來提供暴露特征的確切位置，以及線寬等其他參數。這使機器能夠產生公差在1nm以下的特征。ASML XT 1400E還配備了計算機自動化操作（CAM）功能,允許用戶從數據庫中保存和運行操作參數。該機還兼容了一系列的光掩模，如石英、聚碳酸酯和金屬掩模。此外,用戶還可以從包括Pro-Lithogen套件在內的各種圖像格式中進行選擇,從而使用戶能夠處理各種各樣的任務。XT 1400E設計速度快、效率高,曝光時間可達20秒。該機在設計時考慮了靈活性，與一系列預定義的口罩、光學系統和步進頭兼容，使其適用於一系列應用。總之，ASML XT 1400E是為微電子制造提供精確高效微光刻技術的頂級晶圓步進器。它是一臺前沿機器,具有多種功能,包括亞微米分辨率、自動操作以及一系列掩碼和圖像格式。