二手 ASML XT 1400E #9289674 待售
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ID: 9289674
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Lithography system, 12"
In-line
SMIF
Automation online component: SECE
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Inline flow: Right
CYMER XLA-165 Laser
LED
WL and RL:
WL: Type 3
RL Library: Left
PPD Type: PPD2
Lens and Illumination:
BMU Type: Standard
Appeture INA:
Conv: 0.95
Annual: σAnn.(0.950/0.633)
Lens: PL Purge
Stage:
SCAN Speed: 500 mm/sec
Chuck: Pin chuck
Pin chuck: TIS Align.
2005 vintage.
ASML XT 1400E是一種晶圓步進器,是半導體制造工業中使用的一種光刻機,用於在制造過程中將圖樣轉移到半導體晶圓上。它是一款先進的設備,旨在實現較高的吞吐量和準確性,同時實現較長的產品壽命。XT 1400E利用極紫外線(EUV)光刻技術在晶圓表面上繪制光刻層圖樣。這一過程利用快速脈沖的激光束在晶圓上創建光影圖樣,創建電路路徑。它還使用壓電致動系統,相對於光的圖樣快速準確地移動晶片。ASML XT 1400E具有創新的開放式體系結構設計,允許用戶根據自己的特定需求快速定制光刻單元。例如,可以配置為支持多個步進頭,使其能夠滿足多種光刻需求。它還包括用於過程控制、機器診斷和配方定制的內置功能。XT 1400E非常可靠,即使在惡劣的條件下,也能提供高吞吐量和可重復精度的良好記錄。它具有強大的技術能力,滿足了半導體光刻行業對吞吐量、刀具精度和精密控制的嚴格要求。資產可以安裝在地板架上或嵌入群集模型中。ASML XT 1400E配備了一套診斷、預測性維護和狀態監控工具,使機器能夠實時監控。這還允許用戶快速、準確地排除問題,並查明潛在風險並在影響生產之前予以糾正。該設備設計為易於使用和維護,具有自動加載、自動維護例程和直觀用戶界面等功能。XT 1400E是一種強大可靠的工具,可以幫助優化半導體制造工藝,提高產品質量。
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