二手 ASML XT 1400E #9298749 待售

ASML XT 1400E晶片步進器是為光刻應用而設計的光刻機.它是一個全場、步進和掃描設備，利用高數值孔徑（NA）曝光光學器件來生成晶圓的圖像，這些圖像在處理之前被其成像系統捕獲。該機適合在光刻、光掩模生產等廣泛的半導體加工應用中成像。XT 1400E光刻機可提供高達每小時18個晶圓的吞吐量和高達13mm平方英尺的場大小,非常適合大中型生產應用。它設計用於處理高達675 nm的分辨率,並且由於其高分辨率光學器件而能夠開發出極薄而精確的圖層。該單元可用於加工12英寸晶圓，精度高達1.4um。ASML XT 1400E配備了最先進的掃描儀控制器,能夠提供高級曝光和對齊控制。該機配備了多種驅動程序軟件工具，可用於調整和微調對齊參數，以及針對不同層優化曝光設置。它還能夠同時控制大型晶圓生產的多個掃描儀。XT 1400E配備了運動控制工具，旨在提供高分辨率、高精度的舞臺移動。該資產采用閉環PID控制模型，以確保準確性和可重復性。它還具有多種輸入和輸出能力，可以對設備進行遠程控制。ASML XT 1400E包括一個業界領先的化學加工裝置，旨在以高通量速度提供各種化學品的精確劑量。該單元支持濕法和幹法，以及選擇性蝕刻和濺射。該化學處理單元還具有讀取層間厚度變化，調整化學液滴體積和放置的能力。總體而言，XT 1400E是一種強大而可靠的工業晶片步進器，能夠提供精確的成像和化學處理結果。其高通量速度，加上靈活的設計和廣泛的曝光和處理能力，使其成為光刻和其他半導體工藝的理想選擇。