二手 ASML XT 1400E #9383074 待售

ASML XT 1400E是一種高效可靠的ASML晶圓步進器.它是一個模塊化的平版印刷平臺,考慮到生產力和性能。它特別適用於先進節點光刻的3D封裝、器件縮放等困難的大批量生產應用。XT 1400E晶片步進器基於先進的高功率、多場eXtended源（X-Souse）,可產生並行、多波長的照明,提供更大的聚焦深度和更高的圖樣放置精度。此外,它還配備了最先進的4級預對準設備,可確保多次曝光時可重復且精確度極高。ASML XT 1400E還具有ASML hyper-NA光學功能,可實現高達193 nm波長限制和更小線寬的高分辨率成像。這確保了先進節點技術的高產量和光刻質量。此外，平臺還配備了提供改進的相幹帶寬的變焦鏡頭分組。XT 1400E還提供卓越的溫度穩定性和CD均勻性控制能力.這是由集成熱控系統完成的。這會嚴格保護設備的成像參數,即使在機器溫度變化的情況下也是如此,從而確保了一貫的高光刻性能。ASML XT 1400E的其他功能包括內置的Advanced Pattern Development （APD）軟件,它將所有基本的光刻控制功能整合到一個平臺中。這使得模式數據準備變得輕松,並消除了許多通常與高級節點生產相關的耗時過程。XT 1400E是一種高度先進的晶圓步進器，能夠保證在苛刻的光刻應用中一流的性能。它結合了快速吞吐量、卓越的成像質量、強大的曝光控制、大深度聚焦能力和全面的軟件支持,使此平臺成為希望突破光刻邊界的客戶的理想選擇。