二手 ASML XT 1400F #9232233 待售

ASML XT 1400F
製造商
ASML
模型
XT 1400F
ID: 9232233
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Immersion lithography system, 12" 2005 vintage.
ASML XT 1400F是一種先進的晶圓步進器,旨在為客戶提供無與倫比的精度和性能。自動化系統旨在滿足現代半導體制造應用中最嚴格的模式要求。晶圓步進器配備了15 kV電子束(e-beam)發生器和集成計算機輔助設計(CAD)。晶圓降低到舞臺上,並通過電子束的0.2微米孔徑成像。電子束產生一個精細的聚焦離子束,被引導到矽片表面。吸收的電荷隨後被計算機轉換成精確的圖樣。XT 1400F能夠以0.26 x 0.23微米的音高步進,最大掃描速度為80,000線/秒。它采用改進的線性、低失真和低不可重復性設計。晶圓步進系統還設計了冷卻系統,以保持最佳溫度,確保性能的最高質量。ASML XT 1400F具有高度優化的透鏡、集成的離子抑制和增強的照明控制.它為用戶提供了一套特定於應用程序的實用程序來自定義步進器並提高工作流效率。晶圓步進器還具有可靠的數據記錄接口和關鍵錯誤檢測功能。XT 1400F代表了晶圓步進技術的最新產品,為客戶提供高精度和可靠的性能。ASML XT 1400F憑借其先進的特性和功能,將確保客戶保持在半導體陣列技術的最前沿。
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