二手 ASML XT 1400F #9237068 待售

ASML XT 1400F是一種用於生產先進半導體模具的高分辨率、大場無掩碼光刻設備。它由一個明亮的內置光源、一個優化的投影光學器件和一個用於基板操作的精密納米級級組成。XT 1400F采用紫外線光源，能夠產生波長為193nm的高功率線路和弧線。這種超精確的光流通過投影光學的空間濾波器和光學元件投射到晶圓級。光子的數量和照明的均勻性可以針對個別應用精確調諧。投影光學器件的設計可提供超過12000 mm2的無與倫比的分辨率和均勻性。它具有多路復用配置、不同尺寸的鏡頭、激光對準和對焦調節功能,以及集成的汙染減少系統,以提供清潔的環境。納米級級是專為處理尺寸達300毫米的晶片而設計的。它提供X和Y方向200 nm的運動範圍和20 nm的Z運動範圍,以及高達5000mm/sec的掃描速度。ASML XT 1400F的機器人晶片傳輸單元可以一次處理多個晶片，允許將晶片精確放置到舞臺上，而不會從環境中收集汙染物。XT的先進控制和計量功能1400F保證生產的絕對準確性和可重復性。該機包含一套板載的過程控制工具，以便穩定可靠地運行。此外，其先進的基於反饋的算法使接觸過程能夠迅速適應不斷變化的環境，改善過程控制並最大限度地提高產量。ASML XT 1400F是一種高效、可靠、可靠的無掩碼光刻工具,可提供高通量、高覆蓋精度、無對齊標記的晶片步進性能和無與倫比的分辨率。