二手 ASML XT 1400F #9351329 待售

ASML XT 1400F是一種用於半導體加工的高精度晶圓步進器。它是一種遮罩投影儀，將光投射到基片上，以創造微觀模式，以制造集成電路（IC）芯片。通過這樣做，晶體管和邏輯門等芯片的多個核心組件可以在單個光刻步驟中創建。XT 1400F配備了多項功能，在投影過程中提供了非凡的準確性和準確性。它使用深紫外線（DUV）-405 nm光波長在基板上創建亞微米圖樣。這種光刻系統的最大分辨率約為1.4微米。其投影光學設計為減少像差並產生高度精確的圖樣，而其空間光調制（SLM）單元則可以精確地塑造和控制用於對基板進行圖樣繪制的光。此外,ASML XT 1400F還配備了許多高級運動控制功能。這包括一個雙級顯微鏡階段，允許快速和精確的定位。它還配備了多個電機，能夠提供精確和可重復的運動。真空夾持器系統也可用於在整個過程中牢固地固定基板。此外，XT 1400F具有高度可靠的高級控制算法，能夠確保每次光刻過程一致。它還能夠進行多次曝光，每次曝光都有可調參數以獲得最佳結果。此外,它還集成了智能缺陷檢測系統,可幫助將因缺陷而產生的非功能性芯片數量降至最低。ASML XT 1400F晶片步進器是生產高品質集成電路芯片的重要工具,能夠在各種基板上產生分辨率最高為1.4微米的高精密亞微米模式。XT 1400F憑借其卓越的特性和先進的控制算法,確保了功能一致的芯片的高產量,使其成為當今半導體制造的重要工具。