二手 ASML XT 1700 #293817719 待售

ASML XT 1700晶圓步進器是為高端晶圓級設備制造而開發的先進光刻設備，結合了最新的光學成像技術、多軸傾斜級和先進的控制器系統，在設備生產中具有最大的公差和精度。該系統提供了一個強大的成像平臺,可用於先進的光掩模和標線制造,其800nm曝光系統的最大有效曝光面積可達550 x 600 mm。光掩模和標線被放置在微米精度的舞臺上，然後通過單元移動，在晶圓旋轉器上形成完整的圖案。為了實現精確和精確的成像,ASML XT:1700采用了三組高分辨率CCD攝像機,用於圖案配準和動態對焦。攝像機通過定制的雙軸傾斜繞成像站移動,以優化成像幾何形狀。這有助於消除像差並確保背景幹擾為零,從而確保即使是最小的幾何形狀的粒子級精度。通過使用ASML Hybrid Tilt Stage Technology實現了高精度晶圓轉換。先進的實時位置穩定性伺服控制,可實現高達15,000 um/s的舞臺速度,即使對於最繁重的光刻解決方案,也能實現精確的輪廓跟蹤。位於工具中心的控制器機提供對所有集成組件的集成控制,以實現可編程曝光和過程控制。資產的用戶界面利用了所有相關參數的直觀表格列表，允許快速和容易的參數更改。對各種現場可編程柵極陣列（FPGA）的支持確保了所有工藝之間的低延遲通信,以實現最佳的高產量生產。總體而言，XT 1700晶圓步進器是一種用於最苛刻的設備生產任務的先進光刻模型。它結合了業界領先的成像技術和精確控制，提供了可靠和可重復生產的最大產量的微型特征。