二手 ASML XT 1700FI #293606031 待售

ASML XT 1700FI是用於光刻應用的晶圓步進器。它是一種非常精確、高精度的機器，具有可變形狀成像設備和模位基準識別系統。此單元將掃描過程中曝光場的色散降至最低。ASML XT1700FI旨在產生恒定、可重復的景深,從而實現過程穩定性、最大限度地減少粒子生成並解決小的關鍵特征。XT:1700FI采用高功率、精密的光機制造,可實現高密度和細線寬光刻。該工具由兩個組件組成：兩環光學資產和光束成形模型。兩環光學設備是一種光學對稱系統，使用恒定的軌道曲率來減少波前失真。梁成形單元負責通過參數非球面和軸向間距技術減少不需要和不需要的離軸點來控制曝光場的形狀。XT1700FI還有一個自動化的Zeemann對齊機，幫助減少標線失真和錯位。該工具旨在修正圖樣傳輸過程中納米分辨率的圖像變形.ASML XT:1700FI配備了現場平整資產，由可調節的axicon、可調節的減速器和可調節的局域內光學模型組成，有助於消除場曲率和失真，從而產生高清、高精度的曝光。XT 1700FI配備了強大的控制設備,以確保系統的性能和準確性。該控制單元采用用戶友好直觀的圖形用戶界面和高級數據分析算法設計，提供實時結果。XT 1700 FI的性能可以通過增加包括隔振機、背面快門面罩和晶圓對準器在內的可選功能而進一步提高，這些功能都是為了最大限度地減少曝光周期中的振動和提高晶圓細節配準精度而設計的。最後，ASML XT 1700 FI極其可靠，設計為以恒定的高性能運行。該機器設計有廣泛的安全系統和性能診斷,可監控和控制刀具性能並減少停機時間。