二手 ASML XT 1700FI #9228927 待售

ASML XT 1700FI是為先進集成電路（IC）芯片制造開發的高性能、高精度光刻工具。它是一種基於模板的步進重復曝光設備，包括曝光源、光學柱和晶圓處理系統。在1700FI型號中，曝光頭采用了超快氙氣燈，其曝光時間比傳統光源快兩個數量級。通過存在作為脈沖擴散投射單元的柱內光學元件（如冷凝器透鏡和中繼透鏡），進一步改善了曝光。投影光學器件在晶圓上產生高度均勻的照明圖樣，導致可重復且非常精確的線/空間曝光。1700FI的晶片處理機設計在整個曝光過程中將晶片保持在真空卡盤。這樣可以確保對晶片的緊握,從而確保刀具的性能,並防止由於振動對晶片造成任何損壞。晶片處理資產還可以提供支持，以移動或索引晶片級，以滿足任何激光對準需求。ASML XT1700FI具有現場和離線曝光功能,可實現自動化、靈活性和可編程性。脫機編程和曝光是通過直觀的Interlock Interface Software完成的,它提供了強大的叠加校準、劑量傾斜和通量優化功能。最後，該1700FI的設計具有可靠和首次屈服的性能，並具有現場缺陷修復和校準程序。這使得它成為成本敏感、大批量IC制造的絕佳設備。