二手 ASML XT 1700FI #9269682 待售
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ID: 9269682
Stepper, 12"
SMIF
Automation online component: SECE I / II
Reticle size: 6"
Inline flow: Left
WH Port number: FOUP left type
RH Library: MK V type
PPD Type: PPD2
Lens and illumination:
Max NA: Other
BMU Type: Standard
Light source:
CYMER XLA-360 Laser
Stage:
SCAN Speed: 320 mm / sec
Chuck: Pin chuck
2007 vintage.
ASML XT 1700FI是第五代全場浸入（FFI）晶圓步進器，用於半導體工業生產集成電路（IC）。這臺機器配備了高度先進的自動準直器，在≤英寸的現場尺寸下提供了μ 0.2 ½米的卓越光刻性能和精度。ASML XT1700FI具有「氟化k」浸入式光學成像設備,可提供高達1.38的極高數值孔徑（NA）,並可繪制8 nm至20 nm的特征尺寸圖樣。FFI系統在新的4D成像過程中使用了一種非聚焦介質，從而加快了吞吐量，從而提高了生產率；並設有一個用於分析晶片後圖像處理的綜合晶片跟蹤和分析單元。該機的集成掃描技術能夠減少變化，專註於成像目標，從而提高精度、均勻性和缺陷檢測能力。XT:1700FI具有超過70 μ m的聚焦景深（FDOF）,使圖像在整個圖像中具有更精確的分辨率和清晰度。該機還采用了快速、低噪聲的「臭氧清潔」機，以減少光掩模汙染，減少75%的掩模汙染，並配備了新的熱建模工具，以優化空調，防止溫度相關過程不均勻。ASML XT:1700FI晶片步進器還具有ASML高級計量功能,可準確測量曝光性能、缺陷控制、劑量控制和焦點控制。此外,該機器還具有先進的自動掩模加載系統,可減少裝載2700 mm光掩模所需的時間,並提供各種配方、濾鏡、監控和光刻材料選擇。XT 1700 FI是先進光刻工藝和精密成像的理想工具。它提供了卓越的吞吐量、穩定性、準確性和可重復性,使IC制造商能夠以更快的周轉時間實現更嚴格的公差和提高的產量。
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