二手 ASML XT 1700FI #9379826 待售
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單擊可縮放
ID: 9379826
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
ArF Scanner, 12"
Main body
Wafer stage
LMA Module
AOM Laser
EGPS
(5) Cover panels
Excimer laser
Charcoal filter
Spare parts
Cabinet:
ACC
MDC
ELEC
WICC
WISC
RSRC
MCWC
WSRC
2006 vintage.
ASML XT 1700FI是一種用於半導體器件加工的晶圓步進器.它是由Applied Materials制造的,是業界生產高級設備的領先工具。該設備旨在提供最高的光刻和覆蓋精度。ASML XT1700FI能夠處理2-8英寸的晶圓尺寸,標稱分辨率為438nm.該系統提供高質量的成像以及出色的聚焦控制深度。該單元采用全場光刻掃描，可以輕松、精確地曝光整個晶片。晶圓步進器結合了獨特的掃描儀激光機器，能夠實現更高的曝光速度。它還配備了一對4.5英寸激光掃描工具鏡頭，允許多種曝光模式。該資產的電子束無掩蔽光刻曝光子系統有助於降低掩蔽和檢查要求。電子束無掩蔽光刻也能降低光刻損壞的風險。XT:1700FI與業界最先進的軟件完全兼容,包括用於對齊和覆蓋的ASML Digital Micro Imaging Software。它也與最新版本的美光追蹤器兼容。該模型采用先進的工業PC平臺構建,可提供高水平的可靠性和穩定性。XT 1700 FI具有5軸方向，以確保對整個晶圓的精確跟蹤和掃描。該設備還包括一個可編程照明器和各種各樣的附件，如柱頭、擴散器和暗場光學器件。XT1700FI還具有高性能的微聚焦系統,可確保晶圓在整個表面正確暴露。用於控制曝光分辨率的微透鏡也是該單元的一部分。機器的高級控制軟件有助於減少操作員錯誤,同時提高生產率和吞吐量。總體而言,ASML XT:1700FI是業界領先的晶圓步進器,能夠產生出色的成像效果,同時提供可靠穩定的性能。此工具非常適合高級設備處理,旨在滿足最高的生產要求。
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