二手 ASML XT 1700Gi #9299038 待售
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已售出
ID: 9299038
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Immersion lithography system, 12"
CIM: Secs / GEM
Process: Immersion lithography
(2) SMIF Factory interfaces
FOUP Loader handler system
CYMER XLA360 System
TEL Lithius interface
24 Character BC Reader
Water cooling for EL cabinet
Contrast controller
Universal prealignment
Dosemapper
2006 vintage.
ASML XT 1700Gi是一種高端晶片步進器,專為精確的晶片內陣列設計。它有一個雙鏡頭投影柱和一個量身定制的照明工作模塊,提供0.75的數值孔徑(NA)和高達1250 x 1750 mm的場大小。它設計用於6至220mm厚的曝光,使其具有廣泛的處理範圍。步進器的成像系統使用先進的投影光刻技術,將圖樣圖像向下投影到基板上。它還具有6-23mJ/cm2的能量範圍,使其適合大多數新的圖樣材料。此外,它還配備了3 D半各向同性、偏振校正板,使其在紫外線(UV)曝光時能夠傳遞精度和重復性。機器由用戶友好、高度直觀的圖形用戶界面(GUI)控制。GUI能夠控制復雜的操作序列,並與其他模塊集成以生成模式以及跟蹤診斷。它還配備了高速模式識別選項,使其能夠跟蹤和糾正可能發生的任何錯誤。步進器還擁有高輸出晶片級,能夠達到高達200毫米/秒的速度。步進器也有不同的配置,允許根據大小和應用需求進行定制。它配備了一個環境控制系統,監測並保持步進器內部的空氣清潔。這種監控功能使它能夠保持較低的汙染水平,使機器能夠安全有效地運行。XT 1700Gi是一種先進的晶片步進器,能夠產生精確的晶片內部模式,具有廣泛的曝光範圍。其通用的照明模塊和三維半各向同性偏振校正板保證了精度和可重復性。可調速度,結合用戶友好的GUI和環境控制系統,使機器成為任何晶片制圖任務的可靠和高效的選擇。
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