二手 ASML XT 760F #9243126 待售

ASML XT 760F是一種晶圓步進器，它為半導體生產中的光刻目的協調光學、機械和計算功能。它能夠將多項目晶片吞吐量提高到其前代產品的四倍,並配備2K真空卡盤和完全AUTO DCG/DCP。ASML XT:760F提供了一個5X/6X高數值孔徑系統的選擇，無論是I-line或ArF光刻。它配備了雙場掃描神經網絡，改進了焦點標線和鏡頭調諧器。雙場掃描神經網絡具有檢測輪廓曲面的能力。場匹配的FXLTM標線可確保晶圓整個曲面的間距模式不一致。XT 760 F采用11度掃描設計，產生極低的失真和超精確的光場放置在晶圓上。它擁有快速調諧系統（FTS），用於快速交換標線，最大光場尺寸為30 µm，用於高級功能。此外,XT 760F還具有廣泛的功能,包括通過缺陷劑量預測實現的低排便、用於提高均勻性的4D縫合以及高級晶圓級數據記錄。與較舊的晶圓步進器相比,ASML XT 760 F提供了更好的圖像和叠加質量。這要歸功於其改進的模式校正和自動曝光算法,以及跨曝光領域更好的可重復性。晶圓步進器使用基於Windows的圖形用戶界面和菜單驅動的軟件操作進行管理。通過添加其他選項,包括接觸成像、鍍鉻或掃描清潔器/助推器配置,可以為任何應用程序定制XT:760F。晶圓步進器還有一個內置的安全模塊，可以快速檢測異常的光掩模或打印條件。ASML XT 760F延續了ASML傳統的質量晶圓步進,價格合理.它具有最先進的組件和質量和性能得到改進的設計。使用ASML XT:760F,客戶可以期望最大程度地防止晶圓安裝缺陷和提高產量。