二手 ASML XT 760F #9273568 待售
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單擊可縮放
ID: 9273568
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
DUV Scanner, 12"
Sub process: Low KrF
Material / Chemical: Align
SMIF / FOUP
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Load module
Process module
Workstation
ETC
(70) Lenses
GIGA A700GK Laser
Machine parts and covering panels:
Wafer stage
Bottom module
Charcoal filter
Side channel blower
(5) Machine parts
Process module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Cabinet:
ELEC
MDC
LCWC
MCWC
RSRC
WSRC
Air control
Exhaust
Laser:
AOM
LMA
Excimer
Composition:
ETC
Parts
Tool
Operating system: UNIX
2008 vintage.
ASML XT 760F是用於光刻的晶圓步進器。它是一臺最先進的機器，能夠以最小的方差生產高分辨率元件。它被設計為容納多種基材，包括石英、矽和玻璃，因此可以按照所需的確切規格生產元件。ASML XT:760F是一種先進的光學投影設備,在x、y和z方向上移動.它還包含一個數字照片處理器,可以在成像時進行測量並確保高精度部件。它具有一個傾斜補償器，可以校正可能發生的基板或掩模不對準，從而產生優越的精細螺距特征。XT 760 F包含一個8波段光源，可容納直徑達12英寸的各種晶圓尺寸，一次最多可容納20個晶圓。它還具有電機驅動的半自動晶片處理系統，可以安全移動晶片而不會刮擦或損壞表面。XT:760F的對準和分辨率突出，精度為0.4 µm，線寬變化為0.07 µm。這是超精細螺距元件的理想選擇,其強大的光學單元可聚焦到0.2 µm以下的特征尺寸。XT 760F非常可靠,並具有一整套保護措施,以確保與生產的每個部件的一致性和準確性。它有一個裝有光學器件的保護櫃和一個可以定制以滿足任何需要的固定式自動清洗機。為了獲得極大的靈活性,ASML XT 760 F還提供無掩碼制造功能,允許用戶對其進行編程以快速生產組件,而無需掩碼。這樣可以降低總體生產成本和時間。ASML XT 760F是一種頂級的晶圓步進器,對於任何正在尋找能夠達到最高標準的可靠、準確的機器的人來說都是一個絕佳的選擇。它是那些需要超精細螺距特性或希望生產高分辨率元件的人的理想機器。
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