二手 ASML XT 850F #9244892 待售

ASML XT 850F是一種晶片步進器，設計用於在制造實驗室中創建和檢查晶片上的集成電路。步進器使用光學浸泡光刻技術，通過一系列高度精確的運動和光線照射，在晶圓表面上創建圖像。它能夠生產出在x軸上分辨率高達0.13微米、在y軸上分辨率高達0.20微米的芯片。XT 850F利用專有的高功率激光設備將光刻圖樣暴露在一系列基板上。該激光器配有多場光學系統，可實現高光照均勻性，提高掃描質量。晶片安裝在卡盤上,由高性能的直線電動機驅動級移動。為了提高掃描均勻性，ASML XT 850F步進器包括一個溫度控制單元，以保持晶圓在攝氏十分之一度以內。它還具有高度靈敏的高速幹涉儀閉環計量機，能夠準確快速地檢測高度變化。步進器上的成像工具包括自動聚焦和自動曝光資產,以實現卓越的聚焦性能。它還利用高精度步進級、電機驅動、步進級來實現更精確的定位和提高圖像質量。在操作方面，XT 850F是為便於使用和可靠性而構建的。除了極高的精確度和重復性外，它還設計了多種安全特性和特殊的報警功能，以防止和檢測錯位。它還具有長期的工作壽命和免維護操作。總體而言,ASML XT 850F是一種用途廣泛且可靠的晶片步進器,旨在在晶片上產生高分辨率、高精度的集成電路。它具有多種功能,包括溫度控制模型、自動對焦和自動曝光系統、高功率激光設備和閉環計量系統,以確保卓越的成像性能、準確性和可靠性。