二手 C SUN Stepper #293669782 待售
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C SUN Stepper是一種先進的晶圓Stepper，用於使用光刻成型集成電路。C SUN Stepper被設計為產生精確、高分辨率的集成電路設計對光的曝光。它由機械、成像和照明組件組成,允許精確的特征大小和可重復的對齊方式。機械上，Stepper有一個四象限對準設備，由一個裝有標線（或掩模）的標線級和一個裝有晶片或基板的晶片級組成。該系統支持半自動化和自動化,可容納8英寸大小的晶片。此外,C SUN Stepper支持字段的步進重復對齊和縫合。Stepper提供了一個成像單元，使用高孔徑光學機器與高精度電動機結合，用於圖像移位和放大操作。它具有從0.15到0.55的可變數值光圈（NA），最大分辨率為0.4微米，以及支持0.25微米圖像的高數值光圈（HNA）鏡頭。該工具還包括可調節的標線聚焦機構。C SUN Stepper還具有可變照明資產,可支持多區域聚焦控制和具有一致聚焦深度的大場均勻性。它使用可變光圈和可變衰減快門來微調照明輪廓，以獲得最佳曝光性能。Stepper還提供了自動對齊功能,即使在長時間的生產運行中也能確保高水平的可重復性。總體而言,C SUN Stepper專為精確可靠地設計集成電路而設計。它結合了成像、照明和對準元件，是制造生產級集成電路的可靠選擇。
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