二手 CANNON No210 #9284908 待售

CANNON No210晶片步進器是一種前沿半導體光刻工具，用於集成電路的高精度光刻。該工具配備了掃描儀式掩模對準器，使圖樣能夠完全自動化和可靠地對準基板和光掩模，從而實現快速和準確的光刻處理。設備的掃描儀功能可提供高達1.2nm的分辨率和42x42mm的拍攝區域（在垂直方向X-Y平面）。此外，用戶可以為多層應用安裝多達6個曝光頭，同時配置相機的各種光機元件。CANON No210具有微級掃描功能,可以多種配置操作。單次階段掃描可以一次對每個圖像場進行全模式覆蓋，而多場掃描則可以將多個部分的場曝光分開，並允許在每一部分進行更高的曝光，從而提高圖像和特征的準確性。晶圓步進器還配備了一系列自動操作的功能。自動曝光控制在曝光過程中不斷調整曝光參數,而自動聚焦調整則在整個晶圓場的高度和寬度上保持最佳聚焦。為了確保整個曝光過程的準確性和穩定性,設備還提供自動照明控制和設計規則檢查（DRV）校準。總而言之，佳能CANNON No210是一種精密而全面的晶圓步進器，可以對集成電路進行快速準確的曝光。其掃描儀和微型級功能相結合，可實現廣泛的曝光和分辨率，而其自動化功能提供可靠、一致的曝光過程。