二手 CANNON No36-3 #9284913 待售

CANNON No36-3是一種自動化晶片步進器，設計用於半導體生產應用中的自動曝光處理。它能夠使用來自x軸移動源的高對比度XTHC光進行曝光陣列。晶片步進器具有空氣懸架和高分辨率成像設備，以高度明確的步進精度和模式可重復性提高吞吐量。XTHC光源使其能夠準確定位晶片以實現最佳處理。具有動態集中功能的全自動功能可實現更大的一致性和全場成像可重復性。除了光強變化之外，它還具有高分辨率圖像傳感器陣列和Xthc光電源。該系統的準確性是其性能的標誌,提供了高分辨率的模式步進。晶片步進器由不銹鋼框架構成，包括四個可調剛度阻尼臂，使晶片保持均勻懸掛，防止振動。傳動導軌處於Y軸移動方向,Z軸上的配重允許精確控制晶圓對齊狀態。No36-3在不同的載荷條件下,在所有三個軸上都使用帶有振動計的交叉定格運動輪廓來獲取高分辨率圖像。圖像分析沿X軸進行,每條線最多有16個峰截面。采用散射法測量掃描線方向和晶圓圖樣的傾斜角。然後,在圖像處理過程中使用此數據生成一個重新生成的模糊線模式以進行精確配準。CANNON No36-3配有20位編碼器，用於控制晶圓定位和同步X-Y驅動器，以獲得最佳吞吐量。步進器還具有自生成程序代碼（SPC）和菜單驅動參數控制器,以實現高效操作。自成一體的工藝控制單元根據工藝配方和曝光分辨率提供各種曝光時間。這臺機器允許多次曝光和專門操作快門葉片控制。利用其自動調整和校準功能，No36-3確保精確曝光，可以調整以創建所需的模式。該工具還具有± 10 μ m的公差範圍，適用於高分辨率晶圓-集成。CANNON No36-3是一種先進的自動化晶片步進器，可以在晶片基板上產生清晰、準確的圖樣。其最先進的性能和特點使其成為半導體生產應用中高精度曝光處理的理想選擇。