二手 CANON 13 #9284912 待售

CANON 13是CANON Inc制造的精密晶圓步進器。它設計用於半導體、光子學、MEMS和IC/MEMS/BIO行業的高精度光刻。該機專為高通量應用而設計，能夠在矽、石英、玻璃等基板上產生極高品質的圖像。13具有雙頭設計，配有主光學單元和獨立的快門控制單元。主光學單元包含一個頻率加倍的KrF準分子激光器，用於薄晶片上的高通量。它還包含兩個可調焦距鏡頭，一個用於光源，另一個用於投影鏡頭，能夠精確控制光強度、光斑大小和焦距。投影透鏡是一種三組非球面透鏡，設計用於晶圓上的高性能光刻。主光學單元還包含一個曝光級，具有電機驅動和晶圓支撐機構。快門控制單元為激光提供快門速度，允許精確控制曝光時間。它包含快門臂機構和基於時間的快門控制,用於精確的曝光控制。曝光時間可由0.2ms調整為5ms。CANON 13還包含一個X-Y自動轉換器，它可以在整個曝光區域進行晶圓掃描。它可以在任何方向上掃描到2000毫米/秒。X-Y自動轉換器由高度精確的反饋電動機驅動。它還包含一個X-Y同步控制數據輸出電路，允許快門控制單元和自動轉臺之間的精確同步。13還具有高度精確的對準和對焦控制設備,可確保生成的圖像精確無誤。它具有高精度的自動對準系統，能夠將激光與光掩模精確對準。對焦控制單元的設計是為了確保投影鏡頭精確聚焦在晶片上。CANON 13是一款先進、高精度的光刻機，為最大精度和吞吐量而設計。它的特點和控制使它能夠產生極其精確和高質量的圖像。它能夠快速掃描大面積區域,同時提供對曝光時間和準確性的精確控制,使其成為那些需要高質量和可靠光刻解決方案的人的理想選擇。