二手 CANON 36-3 #9284914 待售

CANON 36-3晶圓步進器是一種高度自動化和精確的機器，用於生產集成電路。它能夠高精度地在半導體晶片上產生電路模式。它使用了一種稱為步進和重復光刻的技術，這種技術包括通過一系列步進面膜使晶片暴露於一種光的模式中。36-3專為高生產率而設計，循環時間每步僅6秒。它配備了最先進的視覺系統，可以快速識別錯誤並確保準確的結果。高度先進的光學系統具有365nm直徑的分辨率,因此非常適合對先進光刻工藝中使用的最小節點進行陣列設計。CANON 36-3使用機動多軸級，可以處理直徑達8英寸的晶圓。曝光階段包括6個獨立的摩托化軸，允許復雜的多模式對準納米精度。此外,電動伺服值可提高曝光精度,縮短配方開發時間。36-3 Wafer Stepper帶有一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,它簡化了編程並消除了對專門編程知識的需求。可通過內置內存導入和導出自定義配方。機器還包括在線預設，允許晶圓級的精確設置與單個按鈕的按下。CANON 36-3通過自動維護和一套高級診斷程序來確保最大正常運行時間,在步進器運行期間檢測並報告任何異常。此外,它還包括一個網絡選項,能夠與網絡中的其他計算機連接,從而便於數據交換。綜上所述，36-3晶圓步進器是一款具有最先進技術特點的創新機器，是高精度光刻的理想選擇。它具有高精度、高速度、易於編程的功能以及自動化的維護和診斷系統。它是任何尋求產生高度精確模式的集成電路生產設施的理想選擇。