二手 CANON 420209887 #9308582 待售

CANON 420209887是一種先進的晶圓步進器，用於半導體制圖和光刻應用。該裝置是佳能精英系列步進器的一部分，為芯片生產提供高效率、精確度。它能夠以高分辨率曝光直徑達8英寸的晶片。420209887配有照明設備,可提供高達841mJ/cm2的UV能量範圍,用於高QE或3 μ m對準。可變縱橫比物鏡集成到步進器中，提供16nm線/空間和5um接觸對準的最大分辨率。這使得機器能夠有效地暴露復雜的電路模式，而不會造成圖像失真。系統還配備了一個OPC模塊，使用AI算法來預測暴露晶圓時的過程變異性。晶片通過自動加載單元加載到機器上以實現快速吞吐量。彈匣最多可容納150個8英寸晶圓。CANON 420209887設計有先進的空氣管理機器，有助於保持工具內部的壓力和溫度。這樣可以確保曝光和蝕刻結果保持一致。資產還具有16nm的最小特征大小，允許更復雜的電路模式。機器還配備了FOUP Auto Change模型，允許用戶只需單擊一個按鈕即可快速更換FOUP包。這有助於減少停機時間並簡化流程更改。最後，將最先進的E-Max控制器集成到機器中，為高精度性能提供了完整的用戶界面和監控設備。總體而言， 420209887是一種先進的晶圓步進器，專為精度和高效率而設計。它提供了廣泛的功能,包括UV能量範圍、可變縱橫比物鏡、自動加載系統、5um接觸對準和FOUP Auto Change單元。先進的空氣管理機和E-Max控制器進一步提高了性能和精度。