二手 CANON 52 #9284911 待售

CANON 52是CANON Inc.製造的晶圓步進器，用於半導體工業中的光刻用途。這臺機器有能力將圖像投影到晶片上，放大倍數從5倍到75X倍不等，采用的曝光操作結合了高分辨率光學設備和先進半導體模式發生器的成像原理。該系統具有多種集成特性，保證了光刻工藝的高精度。它有一個位置測量單元（PMS）,它集成了有關電動機、級的位置、運動方向和對準條件的信息,以便在曝光操作中獲得更高的精度。該機還包括一個扭曲補償工具（CCS），它利用水靜電級的設計來減少振動，從而實現更高分辨率的成像。52還有一個可以處理一系列數值孔徑和波長的曝光設施，以便最大限度地利用光。該資產還包含傳感器增強技術（SET）,該技術支持主動自動對齊管理,並根據晶圓特性控制曝光條件。這樣可確保在整個生產過程中準確曝光圖像。該型號配備了高精度、快速聚焦的自動聚焦設備，以匹配各種晶圓高度。這種自動聚焦系統是一種提供實時湍流補償的光電機電一體化設計。該裝置還有一個幹涉儀波前傳感器，用於測量和檢測晶圓與光學器件之間波前光學失真的任何變化，從而實現精確的曝光操作。CANON 52能夠處理範圍廣泛的晶圓尺寸，從1英寸到8英寸不等，機器容量為每小時1000個晶圓。曝光模式支持步驟、重復和掃描曝光,采用全自動故障檢測和糾正工具,旨在防止任何曝光錯誤。除了這些功能外,52還通過高級模式優化和分析提供了高度的過程理解。這使制造商能夠優化晶片並調整曝光參數,而無需執行多次曝光運行。此過程優化功能可提高效率、減少浪費並提高產量。