二手 CANON ES2+ #9272650 待售

CANON ES2+是一種頂級晶圓步進器,旨在提供嚴格公差和具有挑戰性的數據集的精度和準確性。它是一種先進的光學光刻設備，具有多級精密電機和控制系統，可以讓用戶在整個過程中精確對準晶片，操縱曝光，快速準確地移動晶片。該單元由一個註冊/裝載站、一個曝光頭、三個晶圓操縱專用階段、一個對準階段、一個軌道設定標記和一個內置的空氣承載階段組成。ES2+具有超高精度變焦鏡頭和極快的晶片致動功能。這使得它能夠以最短的曝光時間和減少的汙染和缺陷水平實現高清成像。機器還能夠在曝光過程開始之前檢查、識別和排除晶片中的缺陷，從而減少昂貴的曝光返工。CANON ES2+與五英寸和六英寸（152毫米和193毫米）晶圓兼容，能夠精確覆蓋配準對準。ES2+具有高級過程控制功能。這些包括內置的可編程晶片操作支持、對象識別、光學失真控制、精確的曝光頭位置監視器、自動化的過程管理以及曝光評估監視器。這些特性可以精確控制精細的晶圓光刻工藝。CANON ES2+的響應能力允許使用高級特征寬度和曝光策略,從而提高工藝產量並減少廢料。ES2+非常用戶友好,具有圖形用戶界面（GUI）和直觀的命令集,以便於操作。還包括「自動對焦校準」菜單,允許用戶輕松設置工具以進行敏感的對齊操作。CANON ES2+配備了獨特的振動資產，保持穩定聚焦，減少過度振動造成的錯位，進一步促進了準確性。此外，該車型還配備了電機驅動的衰減器，快速準確地減少曝光。ES2+可以立即使用,因為它是預先安裝並準備運行的。此外,由於CANON設備集成平臺,它的安裝得以簡化,從而實現了快速的系統集成。它還受到CANON 24/7支持服務的監控和支持,保證性能和正常運行時間。CANON ES2+為晶圓曝光需求提供了一個極好的解決方案，以最短的設置時間和最小的麻煩提供高質量的結果。