二手 CANON ES3 #9272653 待售

CANON ES3是一種高精度半導體光刻設備，利用晶圓步進器制造出先進的半導體器件。它設計為能夠處理各種工藝要求,並且可以生產45nm至180 nm之間的設備。它的步進技術是一個高吞吐量的系統，提供最大的效率和優越的再現性。佳能ES 3具有對準和曝光模塊、晶片級、晶片傳輸機構和晶片夾緊單元。對準和曝光模塊負責分析光束並將其引導到晶圓上所需的位置。晶片級允許晶片的精確步進和定位，以便在曝光前精確對準。晶片傳遞機構確保晶片在晶片級和暴露區域之間的精確移動。晶片夾緊機確保晶片在光刻過程的每個步驟中的安全和準確定位。ES3利用照明優化來提高曝光精度。其曝光工具由先進的光刻照明資產、激光對準模型和精確的定制鏡頭組成。照明設備由高功率激光控制，精確對準光束進行曝光。激光使用板載、精確控制的光學器件，以確保曝光精度和均勻性。定制鏡頭由兩個大的獨立透鏡和兩個較小的輔助透鏡組成，這些透鏡經過精心對準，可以在整個晶片上提供均勻的曝光。ES 3還具有強大的計量系統，能夠測量動態範圍、焦點深度、線寬和臨界尺寸等關鍵芯片參數。這樣可確保以快速結帳速度進行精確測量,從而為客戶提供詳細、準確的曝光和光刻結果。CANON ES3晶圓步進器是一個強大的單元，提供準確、可靠和高性能的光刻結果。它的特點使得它適合從簡單的模具到復雜的高端芯片設計的應用。其高吞吐量和精確的光學元件確保了最高水平的準確性和性能。