二手 CANON ES5 #9227408 待售
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CANON ES5是一種用於半導體制造過程的高規格晶圓步進器。它旨在使晶片的高精度和高通量曝光處理成為可能,並能夠實現亞微米晶片極高精度的掃描曝光處理。CANON ES-5使用空間精度為0.047微米(設備總精度等於或小於3.5 nm),曝光精度為0.25 nm的500毫米平方場。它配備了獨特的掃描系統,即使在處理各種形狀的印刷電路板時也能提高精度。ES5采用一種超高速晶片處理裝置,能夠在一沖程內處理多達48個晶片而不會泄漏。這使得晶圓能夠高速、高精度地曝光。ES-5具有M12電動衍射式自動級,在高速掃描模式下提供高精度對準和可重復性。此外,采用了電機驅動的自動聚焦機制和全重叠掃描模式,以確保晶圓的高質量曝光。步進器中還內置了圖像處理機,用於糾正圖像缺陷,減少整體曝光時間。此外,CANON ES5將高精度、高速的標線級與層壓玻璃基板相結合,使其成為廣泛的薄膜器件的合適選擇。這臺機器的另一個特點是其先進的控制工具,它提供了穩定準確的定位。步進器還結合了先進的專有光學資產,它使用透鏡和反射鏡的組合,以減少光學失真和最大限度地減少耀斑。這使得高質量的圖像具有卓越的圖像分辨率和高對比度。最後,佳能ES-5還具有真空模型和小型晶片的集成插座,便於安裝和裝載。步進器還提供了一系列自動加載和卸載功能,可確保晶圓處理保持在最低限度。總而言之,ES5是一個非常可靠和高效的步進器,專為晶圓的最佳SEMI-stANDARD曝光處理和精確定位而設計。它可以實現高精度的對準和曝光精度,同時減少整體曝光時間。這使制造商能夠生產高質量和精確的產品,這些產品可用於各種應用。
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