二手 CANON EX4 #9242644 待售

CANON EX4 Wafer Stepper是一種高性能晶圓光刻設備，設計用於處理各種生產需求。該系統非常適合晶圓級封裝和其他光刻應用。它具有模塊化設計,包括高精度XY定位階段、曝光單元和吞吐量控制設備。EX4的XY定位階段具有0.2 μ m的高分辨率和0.1 μ m的重復性，在光刻元件的放置上提供了卓越的精度和重復性。舞臺由兩段式機器組成，低級的階段為粗動，高級的階段為精調。運動控制技術基於公司專有的Servo4運動控制模塊。這有助於確保在整個晶圓掃描路徑中平穩準確地控制運動。佳能EX4的曝光工具包括電動機驅動的鏡面掃描儀、30-kHz高速掃描和高功率紅外激光。它還具有兩軸同步掃描模式，使其能夠完全控制光束光斑大小和均勻性。資產還有一個可選的光學空中圖像測量裝置，有助於確保適當的晶圓曝光。EX4的吞吐量控制器是N控制器。此設備通過調整加壓和流量控制設置來影響模型的吞吐量。控制器的計時器設置可以調整以達到所需的曝光時間。總體而言，CANON EX4 Wafer Stepper是一種先進的晶圓光刻設備，技術高度先進。它提供了可靠可靠的性能，是各種晶圓級封裝和光刻應用的絕佳選擇。