二手 CANON EX4 #9247920 待售

CANON EX4是一種最先進的晶圓步進器，被設計為精密光刻和材料分析中的下一代步進器解決方案。EX4是一種全場掃描步進器,能夠在25mm到300 mm之間進行曝光。步進器利用遠心光學元件增強了精度對準，並擴展了聚焦自動化，確保了卓越的生產效率和可重復性。這些特性與CANON CSPI （Common Stepper Precision Initiative）相結合,可實現0.05 µm （20 nm）的最大覆蓋精度。CANON EX4的最大分辨率為0.4 µm,在低放大倍率下可在8 μ m或高分辨率放大倍率下單次進行多達3次曝光。步進器還配備了雙板放置設備，允許手動和自動操作，允許用戶以地圖和圖像格式調整和顯示板圖樣，以提高效率和準確性。EX4擁有令人印象深刻的光學系統,可提供高達12 µm的深度聚焦,從而提供更快、更精確的曝光場。此外,步進器的力刷新單元設計用於檢測曝光中的任何錯誤,並在整個磁場上快速校正調整z軸。機器還消除雜光幹擾,確保精確成像.CANON EX4易於維護,對人員和產品具有卓越的安全措施。與CANON Layout Manager軟件包完全集成,用戶還可以訪問10,000多個部件可配置的配方和庫,以實現最佳的曝光控制和可重復性,還可以訪問一個板載機器人處理程序,以便於主板處理。歸根結底，EX4是理想的晶片步進對於需要更高的精度和平穩操作的工廠和大學。憑借最新的晶圓掃描解決方案和無故障操作，佳能EX4是控制、精密光刻和材料分析的完美工具。