二手 CANON EX4 #9356495 待售

CANON EX4是日本成像和光學產品公司CANON, Inc.制造的高性能晶圓步進器。它是一種「先進」的曝光儀器，能夠進行先進的音調控制、分辨率、特征大小的可重復性和卓越的配準精度。EX4用於在半導體、微電子和其他行業的晶圓和其他平面基板上打印高分辨率圖像。CANON EX4能夠打印低至0.5微米、高度精確、小於1微米且可重復性的圖像。它具有廣泛的曝光緯度和高達八級的音調控制。曝光頭還有一個雙角度照明設備，可以提高打印圖像的分辨率和對比度。曝光系統采用最新的模式識別技術設計，允許單位快速檢測模式並調整曝光參數，以提供一致的結果。EX4的設計考慮了安全性和人體工程學。它有一個獨特的加載機器，使晶片加載速度快，容易和安全。該工具具有監控資產，能夠在暴露前檢查表面的顆粒、劃痕和碎屑。它還配備了有助於防止晶片靜電損壞的防靜電模型。此外，它有一個剛性的機械臂，以幫助減少振動和提供精確控制暴露過程。佳能EX4還提供各種自動化數據分析工具、成像選項和其他功能。這些選項包括集成配方界面、自動工具對齊功能、優化的曝光參數設置以及用於監視和控制的遠程訪問設備。它還有一個集成的自動缺陷審查系統，有助於識別圖像中存在缺陷的區域。總體而言，EX4是一種先進的晶片步進器，用於在晶片和其他平面基板上打印高分辨率圖像。它的特點，如雙角照明和防靜電系統，使它比傳統步進一個邊緣。它的自動化數據分析、成像選項和遠程控制單元使其成為半導體和微電子行業的寶貴工具。