二手 CANON EX5 #293778968 待售

CANON EX5是CANON Inc制造的旗艦晶圓步進器。它於1986年開發，已成為精密光刻行業標準30多年。EX5專為芯片制造等大批量工業應用而設計,能夠產生精確度更高的微型和復雜圖像。CANON EX5是一種步進重復設備,能夠從直徑最大為10英寸的主晶片生成圖像。它配備了五軸運動能力，允許對母片和目標晶片進行完全的位置控制和精確的對準。該系統還具有獨特的模具對準單元，可以將單個模具精確定位在目標晶片上。EX5具有很高的重復性和位置準確性，能夠產生極高層次的細節和均勻性的圖像。CANON EX5利用CANON專利的正弦光柵，這是一種先進的光刻技術，能夠比標準接觸方法更精細的分辨率。這是通過在晶圓上放置激光束的正弦陣列，產生暴露晶圓上特定區域的幹涉圖樣來完成的。通過控制透鏡與其中心之間的角度和角度，可以在晶片上創建或修改不同的結構。EX5還具有獨特的基板加熱技術，它允許主晶片和目標晶片的熱均勻性。這樣可以防止由溫度變化引起的不均勻模式擴散和圖像失真。此外,CANON EX5還提供了增強的自動對焦和基於自動對焦的晶片步進器,使機器能夠識別晶片的快速變化並快速相應地調整焦點。最後,EX5在模具方面具有高度的多功能性,因為它可以與可互換的口罩和鏡片以及定制的鏡片一起使用。這允許在圖樣和光刻選項方面進行更高程度的定制。所有這些特性，加上其經濟實惠，使佳能EX5成為任何工業應用的理想光刻解決方案。