二手 CANON EX6 #9352053 待售

CANON EX6是一種用於半導體芯片制造過程的晶圓步進器。它用於在晶圓上產生最一致的詳細和復雜的模式。它配備了一個成像鏡，用於將掩模的圖像投射到晶圓上。反射鏡可以同時在兩個軸上傾斜和聚焦,從而獲得最高的精度放置精度和圖像失真校正。EX6還配備了新的高分辨率擴展器（HRRE）。這項技術為晶圓整個活動區域上的細線和恒星聚焦提供了極其精確和尖銳的成像特性。HRRE配備了8個透鏡和4個反射鏡，將光線從掩模引導到晶圓上，並提供<0.08 μ m的線條和表面的輪廓顯示。此外,CANON EX6還具有非凡的3維加速/減速系統,可在保持準確性的同時縮短定位時間,並提高生產效率。EX6旨在通過合並數字圖像系統（DIS）來促進設備擴展。該系統采用圖像傳感器陣列,並采用反饋技術來提供優化模式分辨率的選項。DIS允許調整級運動減速速度和掃描速度,以將晶片精確定位到掩模上。CANON EX6除了具有這些顯著的特性外,還采用超純水射流技術,在晶片處於步進狀態時對晶片進行清潔,從而減少晶片的顆粒損壞和顆粒汙染。EX6還配備了高級診斷功能,以便用戶自定義對齊和叠加參數。其直觀、用戶友好的圖形界面使用戶能夠分析步進操作數據，優化操作性能。CANON EX6能夠實現半導體制造所必需的最高精確度、精確度和質量的成像,是半導體芯片制造領域的理想選擇。