二手 CANON FPA 121 #9177558 待售
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CANON FPA 121是用於半導體制造光刻工藝的晶圓步進器。它是一款具有8英寸（200毫米）晶圓尺寸的先進、高性能的步進重復曝光設備。FPA 121具有較高的數值孔徑（0.75），以提高分辨率和改進蝕刻。動態掃描系統（DSS）通過使用移動鏡像掃描舞臺來實現快速、高精度的模式傳輸。這項技術還確保了晶片上的精確放置和對齊，無論其特性或圖樣數量如何。CANON FPA 121具有單波長照明單元的1.4 Wspm（晶圓每小時）的增加吞吐量，且性能一致，即使在高吞吐量下也是如此。它還提供了自動曝光控制、點對點縫合以及對整個晶圓表面快速掃描等先進技術。FPA 121有一個減少遮罩基板變形的拱形遮罩卡盤和一個先進的遮罩對準器，測量範圍廣泛，為175 µm。它還具有低汙染的離子植入器選項和六軸角表。先進的步進器提高了32nm的分辨率，使圖案能夠被精確快速地蝕刻。它還具有高性能自動檢測（API）機，可以提高缺陷定位精度和檢測速度。CANON FPA 121有一個快速進場單元，可以在X、Y和Z軸的兩個點之間快速移動，允許高精度的掩碼布局。幾個模塊可以組合在一起，形成一個單步重復的工具，使其適合各種生產線應用。綜上所述,FPA 121是一種高性能的重復曝光資產,它提供了獨特的功能,如高數值孔徑、動態掃描模型、增加的吞吐量、先進的技術、低汙染、改進的分辨率和快速進場單元。適用於各種半導體生產線，設計提供精確、快速的圖案蝕刻。
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