二手 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9033673 待售

CANON FPA 1550 MARK IV-W，晶圓步進器，是一種全自動光刻設備，設計用於在易碎基板上產生高精度特征。這臺機器能夠達到小至25 nm線寬的特征尺寸，允許生產半導體集成電路、MEMS器件和其他類似產品。CANON FPA 1550 MARK IVW采用先進的光學系統和獨特的雙源系統來產生規則和反向圖像，從而提高曝光完整性。利用靜電和磁場，能夠以高度精確的方式控制基板的位置和方向。這進一步結合了高強度曝光光源和一系列具有廣泛數值光圈的透鏡。此單元還包括一臺利用兩步流程的自動對齊機。它利用粗比對掃描工具快速確定正確的比對，還包括精細比對掃描資產，用於精細調整晶片和基板的比對。這允許圖像在基板上的精確配準。FPA-1550 MARK IV-W還配備了高級階段加熱和冷卻模型，可確保精確調節基板溫度。這保證了光刻膠即使在大溫度變化下的最佳性能。總體而言，FPA 1550 MARK IV-W是一種高度先進的光刻設備，能夠在25 nm或更小的特征尺寸的易碎基板上產生高精度特征。通過使用雙源系統、自動對準掃描以及階段加熱和冷卻單元,這臺機器可以獲得始終如一的高質量結果。