二手 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9196317 待售

CANON FPA 1550 MARK IV-W是一種晶圓步進器，用於半導體生產過程中，將光刻圖樣精確轉移到晶圓上。該機能夠加工直徑達24厘米的基板，可達到2.5 μ m的對準精度。它采用了XY級、炮塔和Z型直線級的全機化對準設備，以確保精確的運動控制和高處理速度。步進器使用水銀弧燈將板材投射到波長為193 nm的晶片上。該機配備了激光幹涉圖樣對齊器（LIPA）系統，測量板母片和晶片之間的空間關系，並允許快速的曝光時間調整。此外，步進器利用模模曝光來確保平版印刷圖樣的必要精度。CANON FPA 1550 MARK IVW使用車載可編程設備控制重復率和曝光條件。它還可以選擇使用外部計算機來簡化復雜的模式生成操作。此外，該機器還配備了三維激光幹涉儀傳感器，能夠實時反饋和校正晶圓運動。為了安全起見,步進器具有緊急停止按鈕,可用於立即切斷設備電源並啟動安全關機順序。此外,該機器還能夠通過光學光柵傳感器檢測晶片加載錯誤。總體而言，FPA-1550 MARK IV-W是用於半導體生產中復雜光刻加工的先進而可靠的步進器。它的機動化對準工具和車載可編程設備能夠快速反應和調整，確保高標準的準確性和效率。此外，它還設有許多安全機制，以改進對人員和設備的業務控制和保護。