二手 CANON FPA 2000 i1 #100914 待售

CANON FPA 2000 i1是一種高精度、光學、高端的晶圓步進器。用於生產復雜半導體結構或集成電路（IC）。它是一種工業標準設備，能夠以納米精度提供極其精確的圖案和結構。該系統配備了一個i線投影和405nm μ-ROC（反射模式離軸）光源。這種組合由於其波長能夠有效地傳輸和反射光，提供了極好的精度和較小的光斑尺寸。該平臺還配備了一個高度敏感的三攝像頭自動對準和控制單元。此功能用於精確對齊和控制各種設備幾何形狀和配置,從而實現精確的陣列和掩蔽。步進器的高精度級機使操作員能夠精確地調整和定位一個設備進行精確的圖樣。這是借助精確、全方位的運動控制器實現的，這些控制器為每一次調整提供了速度和精度。NPF（Numerical Proximity Focus）功能允許用戶快速對準和聚焦設備，進一步提高精度和吞吐量。CANON FPA2000-I1還采用了復雜的曝光和抵抗控制方案。此方案結合了不同的曝光技術,如脈寬調制（PWM）、背面曝光和長期曝光,以確保精確的陣列處理結果。該工具還支持完整的數字化原型設計環境,從而實現快速的設計模擬和優化。此資產非常適合要求高度精確、公差緊密且表面精度極佳的陣列的應用。FPA-2000I1提供了一個高分辨率的檢查器板光學模型，使操作員能夠檢查設備模式的準確性和缺陷。它還具有四點圖像測量設備，可以自動檢測短路、橋接、錯位等關鍵缺陷。該系統還提供了廣泛的性能監測工具，包括診斷和性能優化工具。CANON FPA 2000 I 1晶片步進器是一個強大、高精度的生產平臺，能夠提供精確的模式，具有納米精度和可靠性。它結合了高度精確的運動控制器、光學和抵抗控制以及性能監控工具,使其成為任務關鍵型應用的理想平臺。