二手 CANON FPA 2000 i1 #293591390 待售

CANON FPA 2000 i1是一種晶圓步進器，旨在提供精密的光刻成像，具有高通量和卓越的精確度。它具有兩種激光器，一種接口周期性對準設備和先進的照明器/探測器技術。先進的散焦監控系統（DMS）也有助於確保穩定的曝光。該裝置采用雙源光學拾取頭技術，具有先進的照明-探測器組合，能夠提供高分辨率成像。DMS有助於為單層和多層抗暴露提供均勻的重復暴露劑量和模式放置。它向光學單元提供實時反饋，以進行散焦和舞臺失真校正。使用佳能高精度運動控制機保持5軸全運動。CANON FPA2000-I1提供了20納米的高分辨率成像，這對於當前許多微加工工藝都是必需的。該工具設計有兩個激光器，結合使用以最大限度地提高曝光精度。它還具有先進的散焦監視器資產（DMS）,它能夠適應當前的應用,掃描每個字段並自動補償階段像差造成的模式放置偏差。該模型具有內置智能照明器，能夠以可靠的重復性處理最具挑戰性的抵抗暴露要求。此軟件的功能包括掃描線優化、掩碼優化、字段索引和模式分割。FPA-2000I1也是自動化的,提供了一整套操作模式,如自動校準、自我診斷和故障處理,以及用於執行高精度聚焦和曝光控制技術的機載Z深度優化。總體而言，CANON FPA 2000 I1是一種先進的晶圓步進器，能夠提供精密的光刻成像，具有極好的精度和可靠性。該系統具有兩個激光器、一個接口周期性對準設備和一個先進的DMS,能夠提供20 nm的高分辨率成像和可定制的自動化操作模式。內置照明設備和各種令人印象深刻的功能，這個單元是一個理想的選擇，把你的微加工工藝到一個新的水平。