二手 CANON FPA 2000 i1 #293606920 待售

CANON FPA 2000 i1是CANON Inc制造的晶圓步進器。它是一種用於鑄造廠和半導體制造半導體器件的高性能步進器。CANON FPA2000-I1具有大尺寸（2,000毫米）的舞臺和高精度的多曝光模式機構。它配備了兩軸電機驅動的線性級，在每個軸上提供5000毫米的大掃描範圍。它可以通過一個通道曝光一個4英寸或5英寸的晶圓，此外，FPA-2000I1擁有先進的步進控制系統，使其能夠精確準確地定位多次曝光，從而為0.25 μ m的工藝節點及以上創建復雜的模式。FPA 2000 i1能夠在超過80 wph的高通量下實現三線性同步模式。步進器配備了幾種顯示模式，允許用戶在它們之間快速切換，使其成為工程測試快速評估過程或測試特定曝光技術影響的理想選擇。而且，FPA-2000 I1配備了4路輸入/輸出信號系統，可以連接到各種外部設備和控制器。CANON FPA 2000 I1還具有高分辨率、快速模式和劑量控制功能,使其能夠在最小化模式失真的同時實現最佳模式性能。步進器有一個色度測量系統，通過比較圖樣和參考圖像來確保準確的顏色表示。此外,FPA2000-I1還采用模塊化結構,便於更換和維修零件,以實現可維護性。總體而言,FPA-2000 I 1是一種功能強大且可靠的晶圓步進器,可提供高吞吐量的精密陣列設計功能。其精確定位多次曝光的能力以及與外部器件和控制器的輕松連接能力，使其成為半導體器件制造的理想選擇。