二手 CANON FPA 2000 i1 #9033674 待售

CANON FPA 2000 i1是2005年發布的晶圓步進器，設計用於高精度應用。它是一種具有高生產率和圖像均勻性的步進掃描光刻曝光設備。用於先進的半導體光刻工藝。將電光技術應用到成功的FPA-2000平臺上，產生了CANON FPA2000-I1和FPA-2000 i3兩種生產模式。FPA-2000I1模型具有減少場外散光（ROA）的照明系統和對稱對齊機（SAS）的對齊單元,而FPA-2000 i3模型包括同步雙模式發生器（SDPG）。CANON FPA-2000 I1晶片步進器由五個主要組件組成：照明工具、投影光學資產、對準模型、標線工作設備和晶片級系統。照明單元由激光、光陷阱以及折射和/或反射光學元件組合而成，用來產生光並將其引導到標線上。投影光學機器包括一個非球面透鏡和其他組件，用於將圖像從標線投影到晶圓上。對準工具由線性位移傳感器組成，可以檢測標線的X、Y和Theta位置。標線工作資產包括一個標線更換器、一個標線庫和一個熱交換器。晶片級模型由掃描儀和X-Y級組成，用於在X、Y和Z方向移動晶片。FPA-2000 I 1的磁場尺寸為4英寸（100毫米）,射門尺寸可達4英寸（25.6毫米）。它在投籃到投籃的覆蓋層（<3 µm投籃到投籃）和30nm線寬方面達到了很高的精度。步進器還具有可重復曝光的能力，無需人工幹預即可進行多達300萬次的晶圓運行。總體而言，CANON FPA-2000 I1晶圓步進器是一種用於半導體加工的可靠、高精度的光刻曝光設備。它提供高效的吞吐量、高精度和可重復的過程可靠性。是先進半導體工藝的理想系統。