二手 CANON FPA 2000 i1 #9247809 待售

CANON FPA 2000 i1
製造商
CANON
模型
FPA 2000 i1
ID: 9247809
晶圓大小: 6"
優質的: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1是一種晶圓步進器,設計具有高效生產高性能集成電路元件所必需的先進特性和技術。該設備使用戶能夠準確實現亞微米級的特征尺寸和+/-0.5微米的精確覆蓋電位。CANON FPA2000-I1使用步進機制,具有能夠產生雙微米特征的雙彈跳不對稱交叉矢量對準系統。此設備可實現最大的靈活性和性能,允許設備根據流程需要自動調整設置。該機器包括一套強大的圖像處理工具和先進的成像技術。FPA-2000I1包含高分辨率單色相機和熱蒸發器測試階段,以便準確確定叠加對準性能。此外,還提供了包括高速幹涉分析工具(HISA)在內的多種其他組件,以進一步提高工藝性能。晶圓步進器還具有低功耗模式,在操作過程中降低能耗,並提供了一個健壯的平臺,以盡量減少服務呼叫。該資產采用內置維護功能進行設計,使用戶能夠輕松地診斷和修復任何有故障的組件。對於需要超高精度的工藝,佳能FPA-2000I1配備了先進的圖像增強器模型.這種設備使用戶能夠精確地獲得以納米為單位的特征尺寸。通過采用直接寫入技術,系統能夠以通常與電子束光刻相關的分辨率精確再現圖樣。FPA2000-I1基於CANON Flexible Architecture,它允許用戶根據其生產過程的特定需求輕松定制設備。內置對策,如高性能的圖像穩定機,確保用戶能夠可靠地生產出具有廣泛重復性的高精度元件,並能夠精確調節光學曝光。FPA 2000 I1是一個有用的工具,適用於需要具有復雜陣列要求的設備的高級光學性能的用戶。該工具性能可靠,能夠產生高性能集成電路所需的高級功能。
還沒有評論