二手 CANON FPA 2000 i1 #9251787 待售

CANON FPA 2000 i1
製造商
CANON
模型
FPA 2000 i1
ID: 9251787
晶圓大小: 6"
優質的: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1是專門為微加工應用而設計的先進晶圓步進器。這臺高度精確的機器能夠提供令人印象深刻的結果,使其成為要求最苛刻的生產過程的理想選擇。CANON FPA2000-I1提供了一個可靠且可重復的薄膜陣列平臺,對準精度± 1.5微米。它采用晶片掃描技術,這意味著它能夠通過高分辨率光學器件以4.7微米的分辨率沿x軸和y軸(Y方向)掃描晶片。它采用了4.7微米光斑尺寸的遠心光學器件,保證了高精度水平。同時,該設備還具有可編程曝光時間和多重曝光選項,允許用戶量身定制接觸晶圓的特定層。高級FPA-2000I1還具有頂部和底部視覺系統,它們能夠以更高的準確性和可重復性對齊模式。此外,它還使用戶能夠更精確地測量晶圓厚度和叠加對齊方式。與剛性s/N控制系統一起,此步進器能夠在整個過程周期中保持精確的對齊。CANON FPA-2000 I 1采用自動裝卸系統以及車載集群工具和集成的旋轉塗料開發。這使得它更容易使用,適合廣泛的應用。盡管FPA 2000 I 1具有先進的功能,但與其他高級晶圓步進器不同,它的操作相對簡單。CANON FPA 2000 I1非常適合光刻工藝,使用戶能夠精確地執行各種任務。從陣列化納米級結構到封裝微電子設備,這種設備集成設計讓用戶輕松完成最先進的流程。所有這些特性使其成為生產和研究環境的理想選擇。它可以幫助提高生產率,並允許用戶每次都產生令人印象深刻的結果。
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